显微镜空间分辨率的提高吸引了人们的注意，激发了人们的兴趣 。但是，对解决材料科学中的问题来说更为重要的是，如何在原子尺度上获取有用的结构信息 。Hytch等人将高分辨率电子显微镜技术与光学干涉测量技术结合起来，测定了一个原子晶格中的位移，精度达到0.01埃（相当于1皮秒），是所用仪器分辨率的100倍以上 。该实验的目标是测定硅中的边缘位移 。随着硅和其他材料越来越多地用于纳米结构材料中，电子显微镜作为测量张力和应力的一种工具的用途很可能会变得越来越重要 。
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