康熙四十四年（1705年）四月，康熙帝第五次南巡 ， 召江南士子试于杭州、苏州、江宁 ， 陈廷敬与大学士张玉书、掌院学士揆叙奉命阅卷 。
康熙四十九年（1710年），朝廷以陈廷敬为总裁官，与三十多位著名学者开始编撰《康熙字典》 。同年十一月，陈廷敬以耳病乞休，皇帝依允 。次年五月，大学士张玉书去世，李光地疾未愈，陈廷敬应诏入直办事 。
康熙五十一年（1712年）三月，陈廷敬病重，康熙帝令太医院诊视，四月十九日去世 。康熙帝亲作挽诗悼之，谥文贞 。

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